國機集團所屬沈陽儀表院承擔(dān)的沈陽市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展計劃項目“高性能硅電容壓力傳感器”近日順利通過驗收。

該項目采用先進的微電子和微機械加工相結(jié)合的工藝技術(shù)，在硅電容傳感器設(shè)計、制造工藝技術(shù)、傳感器封裝結(jié)構(gòu)等方面具有創(chuàng)新性，解決了硅電容傳感器研制的工藝技術(shù)難題，開發(fā)研制出完全擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的新型高性能硅電容差壓傳感器產(chǎn)品，產(chǎn)品精度優(yōu)于0.075%FS，技術(shù)水平達到國內(nèi)領(lǐng)先、國際一流。（宗瑞）